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上海泰晟与您分享什么是洁净室及其标准

作者:资源汇聚网 | 发布于:2023年09月15日 | 浏览:58 次

洁净室(Clean Room)亦称无尘车间、无尘室或清净室,特别是粉尘浓度有严格要求的密闭空间,是指在一定空间范围内对空气中的颗粒物、有害空气等污染物的控制,以及对室内温度、洁净度、室内压力、气流速度和气流组织、噪声振动、照明、和静电的控制在一定的需求范围内的特殊设计的房间。也就是说,无论外界空气条件如何变化,室内都能具有保持原有洁净度、温湿度、压力等性能要求的特性。

洁净室因其用途和气流类型的不同,又可分为各种不同名称的洁净室。洁净室按用途不同可分为工业洁净室和生物洁净室。工业洁净室是以控制颗粒物为主要目的的洁净室,通常适用于微电子产品的生产、精密机械加工、电子元器件和某些电子产品的装配、精细化工,以及精密仪器仪表的生产。洁净室必须保持一定的正压。不同等级的洁净室及洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于4.9Pa,洁净区与室外之间的静压差不应小于9.8 Pa。低级别洁净室通常没有消毒需求(例如,没有受控微生物),而是更关注空气中的灰尘。

洁净室 主要的功能是维持产品(如硅芯片等)所接触的空气的洁净度和温湿度,使产品在良好的环境空间中进行生产和制造。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒径大于划分标准的颗粒物的数量来规定的。就是说,所谓的无尘并不是100%没有一点灰尘,而是控制在一个很小的单元内。当然,这个标准中符合粉尘标准的颗粒物相比我们常见的粉尘已经非常小了,但是对于光学结构来说,哪怕是一点点的粉尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学结构产品的生产中,无尘是不可缺的要求。

将0.3微米粒径的微尘数量控制在小于每立方米3500以下,就达到了国际无尘标准的A级。而芯片级生产加工的无尘标准会更高,这类高标准主要应用于较高等级的芯片生产上。0.5㎛及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

因此洁净室建造选材十分重要。上海泰晟供三菱防静电pvc板材可以满足半导体行业洁净室需求,具有表面固有阻抗为106~108的良好防静电性能,不易吸附灰尘杂质,发雾量小,防火阻燃。部分颜色因可将特定波长清洗切断,适用光学用途。

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上海泰晟与您分享什么是洁净室及其标准

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